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贬奥狈-尝1新型纳米激光直写系统是一款大面积、高精度、可套刻、超衍射极限加工的激光直写系统，可用于晶圆尺寸的大面积微纳加工，适用于各种微纳结构和器件制造、小批量微纳器件生产等。该系列包括L50、L100等不同型号，具有功能强大、维护简单、加工分辨率高、支持多种刻写模式、支持多种受体材料等特征。本系统在设计之初保留了充足的物理空间和硬件资源，以满足后续功能升级换代的需求，使产物具有更长的生命周期